- 알루미늄 스테이지는 무게를 최소화하여 장비의 경량화를 할수 있으며, 크로스롤러 가이드를 사용함으로 고정밀도를 구현할 수 있고 또한 다양한 조합으로 필요한 형태의 조합을 꾸밀수 있다. 슬라이딩 방식과 구동 방법에 따라서 다양한 선택이 가능하다.
구동 드라이버의 종류에따라 세밀하게 조절할 수 있고, 좌,우 악세서리(마이크로미터 헤드 및 록장치) 없이 테이블 만으로도 사용이 가능하다. 단점으로는 진동에 민감하고 스테이지 상판 혹은 하판에 사용자의 지그를 설치시 과도한 힘으로 인한 베어링에 손상을 줄수도 있다.
사양/모델 | S5H-40L |
Microhead Position | Left, Right |
Stage Surface (mm) | 40 X 40 |
Stroke (mm) - XY | ± 6.5 |
Stroke (mm) - Z | ± 3 |
Resolution (mm) | 10um / division (0.01) |
Parallelism (mm) | 0.05 |
Running Parallelism (mm) | 0.02 |
Travel Guide | V-Groove & Crossed Roller Guide |
Material | Aluminum |
Load Capacity (kg/f) | 1 |
Weight (kg) | 0.37 |
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